TMC地面式主動隔振平臺
TMC地面式主動隔振平臺STACIS Quiet Island半導(dǎo)體制造工廠、納米技術(shù)中心、納米工廠和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動假地面系統(tǒng)結(jié)合在一起,以滿足復(fù)雜的設(shè)施要求(管道、電纜、燃?xì)夤艿赖龋┖捅3謬?yán)格的清潔標(biāo)準(zhǔn)。這種地面不適用于對振動敏感的生產(chǎn)、檢測和計量設(shè)備。活動地面無法為這些工具提供必要的安靜振動環(huán)境。
更新時間:2025-05-30
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
查看詳細(xì)介紹