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SEM主動隔振平臺SEM-Base VI
SEM-Base®VI是下一代STACIS主動壓電消振產品。SEM-Base VI被設計用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強大的控制器和高級圖形用戶界面（GUI）。SEM-Base VI使許多實驗室和設施達到了滿足工具制造商規格所需的地面振動水平。
SEM-Base VI采用*特的“串行結構"，其中的振動傳感器測量地面振動，而不是有效載荷振動。與其他設計不同，這確保了有效載荷共振不會限制隔振或造成不穩定。振動傳感器是低頻慣性速度傳感器，在難以測量的亞Hz范圍內具有*大靈敏度。結合我們*特的壓電致動器技術，SEM-Base VI即使在安靜的地面上也能實現*高的消振水平。
SEM-Base VI可提供與以前型號平均高6 dB的隔振。此外，TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的雙核處理器，為工具所有者和研究人員提供了一個非常簡單易用的圖形界面，可實現快速系統評估和安全操作。通過以太網連接時，DC-2020將在用戶的瀏覽器中創建SEM-Base GUI，無需安裝其他軟件或應用程序。此外，用戶也可以通過板載菜單驅動的液晶顯示器（LCD）與控制器連接。
注意：請參見SEM-Closure，這是一種專為保護SEM而設計的整體環境解決方案。它可以將SEM-Base和Mag-NetX® 固定在一個密封和溫控聲學室中 - 從而保護SEM免受振動、磁場干擾和聲學噪聲的影響。
SEM主動隔振平臺SEM-Base VI的優勢
硬安裝技術 - SEM-Base VI與所有內部SEM振動控制系統兼容，可以從0.6 Hz開始主動減輕低頻地面振動。
主動慣性振動消除 - SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也能實現高水平的振動衰減。
采用壓電技術的串行設計 - *特的串行設計和專有的高力壓電技術可實現0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90％的*越慣性主動振動消除性能。
*全集成式的單平臺設計 - SEM-Base VI設計與制造的集成化，將安裝平臺的工作簡化到了致，簡單的定位與設置之后即可正常工作。
NOTE：可選SEM-Closure，專門設計用于保護SEM的完整環境解決方案。在SEM- Closure密封隔音室內可兼顧放置 SEM-Base VI與Mag-Net X，保護SEM免除振動、磁場擾動與聲波噪音的影響。
產品特點
●STACIS*利技術
●主動慣性振動清除系統
●895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)適合絕大多數商業SEM
●負載能力：408-1134kg (900-2500 lb.)
●隔振效率1Hz:40-70%
●隔振效率經2Hi:90%
●隔振效率＞3Hz:90-98%
●6個主動自由度
●安裝容易，調試簡單
●兼容所有設備內直的振動隔離系統
●電源：100-240VAC, 50/60Hz, <600W
●是否需要空氣：非氣浮系統
●CE與RoHS認證
●*全集成式的單平臺設計
●可安裝腳輪，輕松便攜移動，無需搬運
●兼容SEM-lift系統
性能規格
主動自由度 | 6 |
主動帶寬 | 0.6 Hz - 100 Hz |
被動固有頻率 | 標稱值為12 Hz |
有效的主動共振頻率 | 0.5 Hz |
1 Hz時的隔振 | 40% - 70% |
2 Hz時的隔振 | 90% |
≥3 Hz時的隔振 | 90 - 98% |
內部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
工作負載范圍 | 標準承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克） |
磁場發射4英寸（102毫米）處距離平臺 | <0.02 μG broadband RMSd> |
設計、尺寸、環境和效用要求
環境和安全 | 符合CE和RoHS標準 |
主動隔振元件 | *小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號，其輸出高達800 VDC。垂直執行器支撐隔振的有效載荷 |
被動隔振元件 | 單個硬彈性體（無需壓縮空氣源） |
振動傳感器元件 | 向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于 |
主動反饋控制回路 | 在支撐隔振表面的彈簧 |
尺寸（寬 x 深） | 35.25 x 44.25英寸 |
高度 | 標稱6.3英寸（160毫米）， |
工作溫度 | 50° - 90° F |
儲存溫度 | -40° - 130° F |
濕度 | 30 - 60% |
系統電源要求 | 100、120、230、240 VAC |
地面位移 | <800 μin. (20 μm) below 10 Hzd> |
內置控制器規格
處理器 | 150/75 MHz雙核 |
采樣率 | 10 kHz |
模擬輸出 | 16個通道 |
模擬輸入 | 16個通道 |
狀態燈 | 單個LED |
前面板端口 | 1個串行USB 2.0 |
用戶界面 | 前面板液晶顯示屏 |
性能
使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模擬振動來測試1800磅（818千克）有效載荷
應用說明
應用說明
SEM成像
SEM-Base®在使用日立S-4800之前和之后的圖像
SEM成像
蔡司Auriga FIB-SEM在使用帶Mag-NetX®的SEM-Base®之前和之后的圖像
案例分析
主動壓電消振功能允許在惡劣的城市環境中使用先進的電子束和離子束儀器
提高金剛石車削質量
*大限度地減少表面粗糙度以消除金剛石車削智能設備相機鏡頭模具上的衍射顏色
